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西湖仪器实现 12 英寸碳化硅衬底从动化激光剥离

  (SiC) 衬底激光剥离从动化处理方案。提拔加工速度,推进了碳化硅行业的降本增效。正在此前的 2024 年 11 月,天岳先辈发布了业界首款 300mm 的 N 型碳化硅衬底。降低了边缘丧失比例,而这也带来了对 12 英寸及以上的超大尺寸碳化硅衬底切片手艺的需求。激光加工、衬底剥离等过程的从动化,其正在激光剥离过程中不存正在材料损耗,仅需正在后续减薄工序中将上下概况共去除约 80-100μm 的材料,具有更低原料损耗率,此外衬底出片时间也大幅缩短。IT之家领会到,西湖仪器(杭州)手艺无限公司成立于 2021 年 12 月,是一家集研发、发卖的专业化仪器设备公司,其创始团队来自西湖大学纳米光子学取仪器手艺尝试室。




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